সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন জন্য সংকুচিত বায়ু প্রয়োজনীয়তাগুলি traditional তিহ্যবাহী ক্লাস 0 তেল-মুক্ত মান থেকে অতি-ক্লিন ভ্যাকুয়ামে আপগ্রেড করা হয়েছে। উদাহরণ হিসাবে 7nm চিপ উত্পাদন প্রক্রিয়া গ্রহণ করে, লিথোগ্রাফির জন্য অক্সিজেন সামগ্রী <1PPM এবং কণার আকার <0.1μm সহ বায়ু উত্স প্রয়োজন, যখন
ZAKF স্ক্রু সংক্ষেপক সরবরাহকারী উপাদান উদ্ভাবন, যথার্থতা আপগ্রেডিং এবং বুদ্ধিমান পর্যবেক্ষণের মাধ্যমে 10-PPA এ বিশুদ্ধতা উন্নত করেছেন, যা টিএসএমসি এবং অন্যান্য ওয়েফার ফ্যাক্টরিগুলির মূল সরঞ্জাম হয়ে উঠেছে।
I. প্রযুক্তিগত ব্রেকথ্রুগুলি: জাকফের সেমিকন্ডাক্টরগুলির জন্য তিনটি উদ্ভাবন
পুরো চেইনের তেল মুক্ত নকশা
316L স্টেইনলেস স্টিল + সিরামিক লেপ (যেমন, জাকফের সিলিকন কার্বাইড লেপ) রটার এবং চেম্বারের জন্য ব্যবহৃত হয়, আরএ ≤ 0.2 মিমি এর পৃষ্ঠের রুক্ষতা সহ, যা একটি কোরিয়ান এলসিডিডি -র প্রয়োগের পরে এমএ -তে 500 কণায় প্রতি কণায় প্রতি কণায় কণার উত্সের ঘনত্বকে হ্রাস করেছে। সিলিং সিস্টেমটি পারফ্লুওরোথেরার রাবার (এফএফকেএম) + এয়ার ফিল্ম সিল দিয়ে তৈরি, ফুটো হারটি <1 × 10-⁹pa ・ m³/s আন্ডার-0.09 এমপিএ ভ্যাকুয়াম, যা সেমি এস 2 স্ট্যান্ডার্ডের সাথে মিলিত হয় J জাকফ স্ক্রু সংকোচকারী সরবরাহকারী তেল-মুক্ত ডিজাইনটি লুব্রিকেটিং অয়েলকে সরিয়ে দেয়, লুব্রিকিং অয়েল লভসকে নির্মূল করে। জাকফ স্ক্রু সংক্ষেপক সরবরাহকারী
অতি-নির্ভুলতা যন্ত্র প্রক্রিয়া
ZAKF স্ক্রু সংক্ষেপক সরবরাহকারী 5 বার traditional তিহ্যবাহী প্রক্রিয়াটির তুলনায় ± 0.002 মিমি দাঁত নির্ভুলতা রটার উত্পাদন করতে জার্মান 5-অক্ষের মেশিনিং সেন্টার ব্যবহার করে। তাইওয়ানের একটি ওয়েফার ফ্যাব-এ পরিমাপগুলি দেখায় যে সংকুচিত বাতাসে তেলের সামগ্রী 0.01mg/m³ থেকে 0.003mg/m³ (সনাক্তকরণের নিম্ন সীমা) এ নামিয়ে আনা হয়েছে, যা অতি-ক্লিন ভ্যাকুয়ামের প্রয়োজনীয়তা পূরণ করে। এই নির্ভুলতা প্রক্রিয়াজাতকরণ ক্ষমতা নিশ্চিত করে যে সংক্ষেপণ প্রক্রিয়া চলাকালীন কোনও ধাতব কণা প্রকাশিত হয় না এবং বায়ু উত্সের বিশুদ্ধতার জন্য অর্ধপরিবাহীগুলির কঠোর প্রয়োজনীয়তা পূরণ করে না।
বুদ্ধিমান বিশুদ্ধতা পর্যবেক্ষণ ব্যবস্থা
জাকফ স্ক্রু সংক্ষেপক সরবরাহকারীর সরঞ্জামগুলি 0.1μm কণা কাউন্টার এবং 0.1PPM রেজোলিউশন অক্সিজেন সেন্সর, কারখানার এমইএস সিস্টেমে ডেটা রিয়েল-টাইম অ্যাক্সেসের সাথে সংহত। এআই অ্যালগরিদমগুলি স্বয়ংক্রিয়ভাবে গতির গতি সামঞ্জস্য করতে পারে, ফলন হ্রাসের ফলে গ্যাস উত্স দূষণের কারণে 78%হ্রাস হ্রাসের কারণে মেমরি চিপ কারখানার প্রয়োগের পরে। রিয়েল-টাইম মনিটরিং এবং বুদ্ধিমান সামঞ্জস্যের মাধ্যমে, জাকফ গ্যাস উত্স বিশুদ্ধতার গতিশীল অপ্টিমাইজেশন উপলব্ধি করে এবং গ্যাস উত্স সমস্যার কারণে চিপ ফলনকে প্রভাবিত করে এড়ায়।
তিনটি মাত্রায় অর্ধপরিবাহী গ্যাস উত্স স্ট্যান্ডার্ড আপগ্রেড
Traditional তিহ্যবাহী ক্লাস 0 স্ট্যান্ডার্ডটি আর ইউইউভি লিথোগ্রাফি এবং অন্যান্য কাটিয়া প্রান্তের প্রক্রিয়াগুলির প্রয়োজনীয়তাগুলি পূরণ করতে পারে না। জাকফ স্ক্রু সংক্ষেপক সরবরাহকারীরা নতুন স্ট্যান্ডার্ড প্রয়োজনীয়তাগুলি প্রচার করে:
কণা নিয়ন্ত্রণ: ≥0.05μm কণা <5 /m³ (আইএসও 14644-1 শ্রেণি 5), মূল স্ট্যান্ডার্ডের সাথে তুলনা করে 20-গুণ বৃদ্ধি (.10.1μm কণা <100 /m³); অক্সিজেন সামগ্রী: ফটোলিথোগ্রাফি প্রক্রিয়া <100/m³; অক্সিজেন সামগ্রী: ফটোলিথোগ্রাফি প্রক্রিয়া <1000 এম কণা <100/m³)। অক্সিজেন সামগ্রী: <1ppm লিথোগ্রাফির জন্য, traditional তিহ্যবাহী প্রয়োজনীয়তার তুলনায় 10 গুণ উন্নতি (<10ppm);
তেল বাষ্প: কাছাকাছি-শূন্য নির্গমন সহ <0.001mg/m³ এর ভর স্পেকট্রোম্যাট্রি সনাক্তকরণের সীমা।
এই আপগ্রেডগুলি সরাসরি সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন প্রক্রিয়াগুলির অগ্রগতিতে অবদান রাখে, 7nm এর স্থায়িত্ব এবং আরও উন্নত প্রক্রিয়াগুলির স্থিতিশীলতা নিশ্চিত করে।
ZAKF সাধারণ প্রয়োগের পরিস্থিতি এবং শিল্পের ক্ষেত্রে
EUV লিথোগ্রাফি মেশিন সমর্থন
এএসএমএল ইইউভি সরঞ্জামগুলির জন্য একটি গ্যাস উত্স ভ্যাকুয়াম ≤ 10-⁵pa, ZAKF স্ক্রু সংক্ষেপক সরবরাহকারীদের জন্য তেল-মুক্ত স্ক্রু সংক্ষেপক এবং ক্রায়োজেনিক পাম্প সরবরাহের জন্য নেদারল্যান্ডস আর অ্যান্ড ডি সেন্টারে 10-PAPA ভ্যাকুয়াম অর্জনের জন্য গ্যাস উত্স ভ্যাকুয়াম ≤ 10-⁷pa অর্জনের জন্য সমাধানগুলির সংমিশ্রণ সরবরাহ করতে হবে। নেদারল্যান্ডস আর অ্যান্ড ডি সেন্টারে ⁷pa আল্ট্রা-ক্লিন ভ্যাকুয়াম, এটি নিশ্চিত করে যে চরম অতিবেগুনী আলো সংক্রমণ পাইপলাইনটি তেল দূষণ থেকে মুক্ত এবং ইউইউভি লিথোগ্রাফির উচ্চ-নির্ভুলতা ইমেজিংয়ের জন্য একটি গ্যারান্টিযুক্ত বায়ু উত্স সরবরাহ করে।
3 ডি নান্দ ওয়েফার ক্লিনিং
একটি মাইক্রন প্লান্ট -70 ডিগ্রি সেন্টিগ্রেডে গ্যাস উত্সের শিশির বিন্দু বজায় রাখতে 0.01μm ফিল্টার সহ একটি জাকফ স্ক্রু সংক্ষেপক সরবরাহকারীর জল লুব্রিকেটেড
তেল মুক্ত সংক্ষেপক ব্যবহার করে, ওয়েফার জারণ এড়ানো এবং ফলন বাড়িয়ে 3.2%বৃদ্ধি করে। এই সমাধানটি কেবল পরিষ্কারের প্রক্রিয়াটির শুকানোর প্রয়োজনীয়তাগুলিই পূরণ করে না, তবে তেলমুক্ত নকশার মাধ্যমে গৌণ দূষণকেও দূর করে।
উন্নত প্যাকেজিং বন্ধন প্রক্রিয়া
সান মাইক্রন ফ্লিপ-চিপ সোল্ডারিংয়ে জাকফ অয়েল ফ্রি স্ক্রোল সংক্ষেপক (শব্দ ≤ 62 ডিবি) ব্যবহার করে, গ্যাস উত্সের বিশুদ্ধতা 15μm সোনার তারের বন্ধনের প্রয়োজনীয়তা পূরণ করে এবং বন্ধনের ত্রুটিযুক্ত হার 0.8% থেকে 0.15% এ হ্রাস করা হয়েছে। ZAKF এর সরঞ্জামগুলি এর কম কম্পন এবং উচ্চ বিশুদ্ধতা বৈশিষ্ট্য সহ উন্নত প্যাকেজিং প্রক্রিয়াটির যথার্থ অপারেশনের গ্যারান্টি দেয়।
শিল্প স্ট্যান্ডার্ড পুনরাবৃত্তি এবং জাকফের প্রযুক্তিগত প্রতিক্রিয়া
2024 সালে প্রকাশিত সেমির এস 22.11 স্ট্যান্ডার্ড, সেমিকন্ডাক্টর সংক্ষেপকগুলির তেলমুক্ত শ্রেণিকে 0.1 শ্রেণিতে সংশোধন করে। জাকফের স্ক্রু সংক্ষেপক সরবরাহকারী একটি আল্ট্রা-ক্লিন ল্যাব নির্মাণে আরএমবি 200 মিলিয়ন বিনিয়োগ করেছে এবং এর সরঞ্জামগুলি, ইউএলপিএ ফিল্টারগুলি (99.9995% দক্ষতা) + ওজোন পচন ডিভাইস সহ এসএমআইসি প্রোডাকশন লাইনে উপলব্ধি করেছে যে গ্যাস উত্সের টিওসি <5PPB, শিল্পের প্রয়োজনীয়তা ছাড়িয়ে গেছে। এই প্রযুক্তিগত অগ্রগতি জাকফকে অর্ধপরিবাহী গ্যাস উত্স সরঞ্জামের একটি বেঞ্চমার্ক সরবরাহকারী করে তুলেছে, যা শিল্পের মানকে অতি-পরিষ্কার শূন্যতার দিকে নিয়ে যায়।
14nm থেকে 3nm প্রক্রিয়া বিবর্তন পর্যন্ত, গ্যাস উত্সের জন্য অর্ধপরিবাহী উত্পাদন প্রয়োজনীয়তা "তেলমুক্ত" থেকে "অত্যন্ত খাঁটি" থেকে পরিবর্তিত হয়েছে, জাকএফ স্ক্রু সংক্ষেপক সরবরাহকারী কেবল ইইউভি লিথোগ্রাফি, পারমাণবিক স্তর জমা এবং অন্যান্য কাটিং-এজ প্রক্রিয়াগুলিকে সমর্থন করে না, তবে আল্ট্রা-ক্লিন ভ্যাকুয়ামের শিল্পের মানকেও প্রচার করে। উপকরণ, প্রক্রিয়া এবং স্মার্ট প্রযুক্তিতে ব্রেকথ্রুগুলির মাধ্যমে, জাকফ স্ক্রু সংক্ষেপক সরবরাহকারীরা কেবল EUV লিথোগ্রাফি এবং পারমাণবিক স্তর জবানবন্দির মতো কাটিয়া প্রান্ত প্রক্রিয়াগুলিকে সমর্থন করেনি, তবে শিল্পের মানগুলির ব্যাপক উন্নয়নের প্রচারও করেছে। ২০২৫ সালে 3NM ভর উত্পাদনের আগমনের সাথে সাথে, জাকফের অতি-পরিষ্কার ভ্যাকুয়াম সমাধানগুলি ওয়েফার ফ্যাব গ্যাস উত্স সিস্টেমের মূল প্রতিযোগিতামূলক হয়ে উঠবে, যা সেমিকন্ডাক্টর ম্যানুফ্যাকচারিংয়ের যথার্থতা এবং ফলনের জন্য শক্ত গ্যারান্টি সরবরাহ করবে।
